I MEMS (acronimo che sta per Micro-electro-mechanical Systems, cio� Sistemi Micro-Elettro-Meccanici) sono componenti essenziali in molte applicazioni tecnologiche divenute ormai di uso quotidiano. Il grande vantaggio della tecnologia MEMS consiste nella capacit� di integrare circuiti micro-elettronici e dispositivi elettro-meccanici o opto-meccanici su uno stesso substrato di silicio. Un sistema cos� composto non solo offre numerose funzionalit� prima impossibili con la sola elettronica digitale, ma permette anche la realizzazione di veri e propri sistemi intelligenti (smart systems), in grado di interagire con l�ambiente esterno e riconfigurarsi all�occorrenza. In questo seminario verr� fornita una vasta panoramica di questa tecnologia, mostrando esempi commerciali di successo e alcuni tra i pi� recenti sviluppi nel campo della ricerca.